非接触法晶圆电阻率成像测定仪

产品介绍

产品名称：全自动晶圆成像电阻率测试仪

一、产品概述

仪器采用了*电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。

二、仪器构成：

1、 高精度电阻率测试仪

3、 测试探头

高精度电阻率测量仪：

1.1电阻率：0.00001～20000Ω.cm (可扩展)

1.3电阻：0.00001～20000Ω.cm；

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.3 精度：±0.1% ；

3、恒流源：

3.2电流误差：±0.5%

三坐标测试移动品台：

2、X轴Y轴*小位移量：0.125MM

四探针测试电极：

上位机软件测量成像系统

2、 测量点数：可以设定

4、 2D成像：测试完成后，可以立体成像

将未修整面按GB/T6553要求打磨处理。安装时，应将长度方向中裁取胶片较靠近底边的一端联接在高压电极，且此电极应在未修整面上，上下电极间至少65%的面积应为待试样。

试验方法和结果判定依据GB/T6553,试验采用恒压法A,耐受电压4.5kV,蚀损深度不应大于2.5mm。试验结果仅当蚀损区域在裁取的伞裙胶料内有效（蚀损深度大于2.5mm的部分可以是制样用胶料），否则应重新补做该号试品。注：如果绝缘子的伞套裁取不到以上规格的胶片时,应采用正常生产使用的胶料，按正常生产的硫化条件制成符合GB/T6553规定的试样。一种绝缘子型式在电气上是由电弧距离、爬电距离、伞倾角、伞径和伞间距所确定的。一种型式符合上述准则的绝缘子，其电气型式试验只需进行一次。如果引弧装置是该型式绝缘子的一完整部分，则电气型式试验应带上引弧装置进行。仅当上述特性中有一项或几项改变时电气型式试验才需重新进行。

一种绝缘子型式在机械上是由芯棒直径和材料、伞套的材料和工艺、金属附件的连接方法来确定。仅当上述特性中有一项或两项都改变时机械型式试验才需重新进行。除非另有规定，按IEC60383.1993中和12进行。按IEC60383.1993中和12进行

非接触法晶圆电阻率成像测定仪

非接触法晶圆电阻率成像测定仪