四探针法晶圆电阻率测试仪

产品介绍

全自动晶圆成像电阻率测试仪

产品名称：全自动晶圆成像电阻率测试仪

产品型号：GEST-201

一、产品概述

本仪器主要通过四探针法测试单晶硅电阻率，具有自动定位的三坐标自动测量系统，可以自由设置测量点数量，自动测试完成，可以对测试出的数据进行2D成像，是智能化、集成化很高的晶圆电阻率测试仪器。

仪器采用了*电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。

本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试

二、仪器构成：

本仪器主要组成部分有：

1、 高精度电阻率测试仪

2、 三坐标测试移动平台

3、 测试探头

4、 上位机软件测量成像系统

高精度电阻率测量仪：

1、测量范围

1.1电阻率：0.00001～20000Ω.cm (可扩展)

1.2电导率：0.00005～10000 s/cm；

1.3电阻：0.00001～20000Ω.cm；

2、电压测量：

2.1量程0.01mV-2000 mV

2.2分辨力：10μV；

2.3 精度：±0.1% ；

2.4显示：触摸屏操作显示

3、恒流源：

3.1电流输出：10μA, 100μA, 1mA, 10mA, 100mA, 1A,

3.2电流误差：±0.5%

3.3各档连续可调

三坐标测试移动品台：

1、X轴Y轴移动行程：120MM

2、X轴Y轴*小位移量：0.125MM

3、R轴*小分度值：0.0125°C

四探针测试电极：

1、间距：1±0.01mm；
2、针间绝缘电阻：≥1000MΩ； 
3、机械游移率：≤0.3％；
4、探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；
5、 探针压力：5～16 牛顿(总力)；

上位机软件测量成像系统

1、 测量方式：弧度测量、角度测量

2、 测量点数：可以设定

3、 测试数据：实时同步显示

4、 2D成像：测试完成后，可以立体成像

5、 数据导出：可以保存测试数据生成电子版本

将会得出与运行经验的相对应的判据。在流动的冷水下，用有金刚石层的圆锯片从正常生产的绝缘子上沿与芯棒轴线成90°的方向切割下10只试品，试品长度应为10mm±0.5mm。切面应用细砂布打光（砂粒大小为180目），两端的切面应是清洁和平行的。试品应（纤维垂直）地放入玻璃容器内，置于一层直径相同（1mm?2mm）的钢球或玻璃球上，将1%的品红乙醇溶液（1g的品红放入100g的乙醇中）染料倒入容器中，使其液面应比球层的上平面高2mm?3mm,染料可因毛细作用而从芯棒内上升，测量染料上升贯通试品的时间。染料上升贯通试品所用的时间应长于15min。在流动的冷水下，用有金刚石层的圆锯片从正常生产的绝缘子上沿与芯棒轴线成90°的方向切割下6只试品。

试品长度应为30mm土0.5mm。切面应用细砂布打光（砂粒大小为180目），两端的切面应是清洁和平行的。试品的表面在煮沸前应先用异丙醇清洗并用滤纸擦净,将试品放入含0.1%重量NaCl的去离子水的玻璃容器内煮沸，在同一容器中，只能放入所切割的同一种芯棒材料试品在一起煮沸。沸腾容器示例见图2。在沸腾时间到了以后，将试品从玻璃容器中取出，在周围温度下置于装满自来水的另一玻璃容器中，持续至少15min。在试品自沸腾容器中取出后3h内进行按5.4.2.3的电压试验。电压试验应在图3和图4所示的装置中进行。注：对较大直径的试品，电极的直径也应加大，电极直径至少应比试品直径大20mm。T1——调压器；T2—变压器；

四探针法晶圆电阻率测试仪

四探针法晶圆电阻率测试仪