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          电压击穿试验仪,电阻率测试仪,介电常数测试仪,漏电起痕试验仪,耐电弧试验仪、介电温谱测量系统、热刺激电流测量系统
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          四探针法晶圆电阻率测试仪

          四探针法晶圆电阻率测试仪

          • 产品型号:GEST-201
          • 更新时间:2021-05-14
          • 产品介绍:四探针法晶圆电阻率测试仪主要通过四探针法测试单晶硅电阻率,具有自动定位的三坐标自动测量系统,可以自由设置测量点数量,自动测试完成,可以对测试出的数据进行2D成像,是智能化、集成化很高的晶圆电阻率测试仪器。
          • 在线留言 010-57223838

          产品介绍

          全自动晶圆成像电阻率测试仪

          产品名称:全自动晶圆成像电阻率测试仪

          产品型号:GEST-201

          一、产品概述

          本仪器主要通过四探针法测试单晶硅电阻率,具有自动定位的三坐标自动测量系统,可以自由设置测量点数量,自动测试完成,可以对测试出的数据进行2D成像,是智能化、集成化很高的晶圆电阻率测试仪器。

          仪器采用了*电子技术进行设计、装配。具有功能选择直观、测量取数快、精度高、测量范围宽、稳定性好、结构紧凑、易操作等特点。

          本仪器适用于半导体材料厂、半导体器件厂、科研单位、高等院校对半导体材料的电阻性能测试

          二、仪器构成:

          本仪器主要组成部分有:

          1、 高精度电阻率测试仪

          2、 三坐标测试移动平台

          3、 测试探头

          4、 上位机软件测量成像系统

          高精度电阻率测量仪:

          1、测量范围

          1.1电阻率:0.00001~20000Ω.cm (可扩展)

          1.2电导率:0.00005~10000 s/cm;

          1.3电阻:0.00001~20000Ω.cm;

          2、电压测量:

          2.1量程0.01mV-2000 mV

          2.2分辨力:10μV;

          2.3 精度:±0.1% ;

          2.4显示:触摸屏操作显示

          3、恒流源:

          3.1电流输出:10μA, 100μA, 1mA, 10mA, 100mA, 1A,

          3.2电流误差:±0.5%

          3.3各档连续可调

          三坐标测试移动品台:

          1、X轴Y轴移动行程:120MM

          2、X轴Y轴*小位移量:0.125MM

          3、R轴*小分度值:0.0125°C

          四探针测试电极:

          1、间距:1±0.01mm;
          2、针间绝缘电阻:≥1000MΩ; 
          3、机械游移率:≤0.3%;
          4、探针:碳化钨或高速钢Ф0.5mm;
          5、 探针压力:5~16 牛顿(总力);

          上位机软件测量成像系统

          1、 测量方式:弧度测量、角度测量

          2、 测量点数:可以设定

          3、 测试数据:实时同步显示

          4、 2D成像:测试完成后,可以立体成像

          5、 数据导出:可以保存测试数据生成电子版本

           

           

           

          将会得出与运行经验的相对应的判据。在流动的冷水下,用有金刚石层的圆锯片从正常生产的绝缘子上沿与芯棒轴线成90°的方向切割下10只试品,试品长度应为10mm±0.5mm。切面应用细砂布打光(砂粒大小为180目),两端的切面应是清洁和平行的。试品应(纤维垂直)地放入玻璃容器内,置于一层直径相同(1mm?2mm)的钢球或玻璃球上,将1%的品红乙醇溶液(1g的品红放入100g的乙醇中)染料倒入容器中,使其液面应比球层的上平面高2mm?3mm,染料可因毛细作用而从芯棒内上升,测量染料上升贯通试品的时间。染料上升贯通试品所用的时间应长于15min。在流动的冷水下,用有金刚石层的圆锯片从正常生产的绝缘子上沿与芯棒轴线成90°的方向切割下6只试品。

          试品长度应为30mm土0.5mm。切面应用细砂布打光(砂粒大小为180目),两端的切面应是清洁和平行的。试品的表面在煮沸前应先用异丙醇清洗并用滤纸擦净,将试品放入含0.1%重量NaCl的去离子水的玻璃容器内煮沸,在同一容器中,只能放入所切割的同一种芯棒材料试品在一起煮沸。沸腾容器示例见图2。在沸腾时间到了以后,将试品从玻璃容器中取出,在周围温度下置于装满自来水的另一玻璃容器中,持续至少15min。在试品自沸腾容器中取出后3h内进行按5.4.2.3的电压试验。电压试验应在图3和图4所示的装置中进行。注:对较大直径的试品,电极的直径也应加大,电极直径至少应比试品直径大20mm。T1——调压器;T2—变压器;

           

           

           

          四探针法晶圆电阻率测试仪

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